應用概述
高純氣體從存儲，輸送，分配到尾氣處理，都離不開壓力監測。麥克傳感全自主研制生產的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對需要保障供氣系統安全、穩定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說，是理想的選擇。
高純氣體從存儲，輸送，分配到尾氣處理，都離不開壓力監測。麥克傳感全自主研制生產的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對需要保障供氣系統安全、穩定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說，是理想的選擇。
1、高等級氣體泄露率；
2、長期穩定性及可靠性要求較高；
3、多種腐蝕性氣體介質；
4、高潔凈要求；
5、部分設備安裝空間狹小；
1、產品密封性高，氦氣泄漏率: ≤5×10-12Pa·m3/s；
2、潔凈度高，生產地點：百級清潔車間；
3、表面處理：電拋光，符合SEMI F19；表面光潔度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；
4、耐腐性好，接液材質不銹鋼316L VAR+VIM符合SEMI F20；
5、長期穩定性好，長期穩定性±0.25%FS/年，高EMC防護等級，零點可調；
6、結構特點，緊湊精小，適用于狹小空間。
