應用概述
高純氣體從存儲,輸送,分配到尾氣處理,都離不開壓力監(jiān)測。麥克傳感全自主研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表,對需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說,是理想的選擇。


高純氣體從存儲,輸送,分配到尾氣處理,都離不開壓力監(jiān)測。麥克傳感全自主研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表,對需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說,是理想的選擇。
1、高等級氣體泄露率;
2、長期穩(wěn)定性及可靠性要求較高;
3、多種腐蝕性氣體介質(zhì);
4、高潔凈要求;
5、部分設備安裝空間狹小;
1、產(chǎn)品密封性高,氦氣泄漏率: ≤5×10-12Pa·m3/s;
2、潔凈度高,生產(chǎn)地點:百級清潔車間;
3、表面處理:電拋光,符合SEMI F19;表面光潔度:典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ;
4、耐腐性好,接液材質(zhì)不銹鋼316L VAR+VIM符合SEMI F20;
5、長期穩(wěn)定性好,長期穩(wěn)定性±0.25%FS/年,高EMC防護等級,零點可調(diào);
6、結(jié)構(gòu)特點,緊湊精小,適用于狹小空間。